Công ty TNHH Công nghệ Hanturbo (Chiết Giang) là một trong những nhà sản xuất và cung cấp thiết bị lọc khí điện tử hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi chuyên cung cấp dịch vụ tùy chỉnh chất lượng cao với giá cả cạnh tranh. Nếu bạn định mua thiết bị lọc khí điện tử giảm giá, vui lòng nhận báo giá từ nhà máy của chúng tôi.
Thiết bị lọc khí điện tử có độ tinh khiết cao-là thiết bị hỗ trợ cốt lõi cho-các lĩnh vực sản xuất cao cấp như chất bán dẫn, quang điện và bảng hiển thị. Nó được thiết kế đặc biệt để loại bỏ tạp chất dạng vết khỏi khí-điện tử. Thiết bị này áp dụng công nghệ lọc sâu tiên tiến, có thể nâng độ tinh khiết của khí lên trên 99,9999%, đảm bảo quy trình sản xuất ổn định và đáng tin cậy cũng như chất lượng sản phẩm vượt trội.
Chi tiết
Là mắt xích quan trọng trong chuỗi công nghiệp sản xuất chất bán dẫn, hiệu suất của-thiết bị lọc khí điện tử có độ tinh khiết cao quyết định trực tiếp đến năng suất và độ tin cậy của hoạt động sản xuất chip. Thiết bị này được phát triển đặc biệt để lọc sâu các loại khí đặc biệt cấp điện tử-(chẳng hạn như oxit nitơ, boron triclorua, trimethylsilane, propene, octafluorocyclobutane, hexafluoroethane, carbon dioxide, carbon monoxide, hydrogen bromide, v.v.). Nó có thể loại bỏ độ ẩm, oxy, chất dạng hạt, ion kim loại và các tạp chất có hại khác khỏi khí một cách hiệu quả, nâng độ tinh khiết của khí lên mức-độ tinh khiết cực cao ( Lớn hơn hoặc bằng 99,9999%), đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của các quy trình nâng cao như 7nm trở xuống đối với chất lượng khí.
Ưu điểm kỹ thuật
Hiệu suất thanh lọc cực-cao:Độ tinh khiết của khí tinh khiết có thể đạt tới 99,9999% (mức 6N) và hàm lượng tạp chất thấp hơn tiêu chuẩn ngành.
Điều khiển thông minh:Áp dụng hệ thống điều khiển tự động hoàn toàn PLC, hỗ trợ giám sát từ xa, tự{0}}chẩn đoán lỗi và báo động tự động.
Thiết kế mô-đun:Có thể cấu hình linh hoạt theo yêu cầu của khách hàng, thuận tiện cho việc bảo trì, nâng cấp.
Tiết kiệm năng lượng-và bảo vệ môi trường:Hoạt động tiêu thụ năng lượng thấp, phù hợp với khái niệm sản xuất xanh.
Hoạt động ổn định lâu dài-:Tuổi thọ của vật liệu lọc lõi dài và chu kỳ hoạt động liên tục có thể đạt 2-3 năm trở lên.
Đảm bảo chất lượng
Lựa chọn vật liệu:Tất cả các bộ phận tiếp xúc với khí đều được làm bằng thép không gỉ loại 316L EP-hoặc vật liệu cao cấp hơn, với thành bên trong được-đánh bóng bằng điện để Ra Nhỏ hơn hoặc bằng 0,25μm.
Kiểm tra nghiêm ngặt:Mỗi thiết bị đều phải trải qua nhiều thử nghiệm, bao gồm phát hiện rò rỉ khối phổ helium, đếm hạt và phân tích độ ẩm/oxy trước khi xuất xưởng.
Tiêu chuẩn quốc tế:Tuân thủ các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn SEMI, GB/T, ISO và các tiêu chuẩn trong nước và quốc tế khác.
Quản lý truy xuất nguồn gốc:Một hệ thống truy xuất nguồn gốc chất lượng hoàn chỉnh được thiết lập, với các thành phần quan trọng có thể truy nguyên được từ lô nguyên liệu thô.
Giải pháp cho mối quan tâm của khách hàng
| Tập trung vào khách hàng | Giải pháp của chúng tôi |
| Độ tinh khiết của khí không đạt tiêu chuẩn | Các giải pháp thanh lọc tùy chỉnh để đảm bảo độ tinh khiết đáp ứng các yêu cầu về cửa sổ quy trình |
| Độ ổn định của thiết bị kém | Thiết kế dự phòng + sao lưu kép các thành phần chính, MTBF Lớn hơn hoặc bằng 80000 giờ |
| Chi phí bảo trì cao | Vật tư tiêu hao có tuổi thọ cao + chức năng tái tạo trực tuyến, giảm chi phí vận hành |
| Diện tích chiếm dụng lớn | Thiết kế tích hợp nhỏ gọn, tiết kiệm 30% không gian so với thiết bị truyền thống |
| Rủi ro an toàn | Nhiều khóa liên động an toàn + thiết kế chống cháy nổ-, tuân thủ các tiêu chuẩn an toàn SEM S2/S8 |
Chú phổ biến: thiết bị lọc khí điện tử, nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy thiết bị lọc khí điện tử Trung Quốc
